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半导体无尘车间是指通过高效过滤、低温、恒温控制、高压等环境控制技术，将半导体制造设备和产品放置在一个极低污染的空气环境中的车间。 它的主要作用是防止空气中的微小颗粒、气体、湿度等污染物和微生物污染，以确保半导体材料、工艺和产品的质量。2年前
2023-06-14
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