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卓立VHG-M光栅测试系统基于Littrow自准式入射结构,系统通过精密调整入射角与衍射光强反馈,实现0.02nm级光栅周期测试灵敏度。相较传统透射电子显微镜、原子力显微镜分析法,分辨率提升100倍,同时大幅提高测试效率及精准度。7个月前
2025-04-14
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